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特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，特種氣體廠家，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

特種氣體在進樣中的注意事項

樣品氣的置換，由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，無錫特種氣體，要準確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換，工業(yè)特種氣體，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大，不斷將鋼瓶閥打開關閉反復3次以上，特種氣體多少錢，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對樣品的數(shù)據(jù)的準確性有很大影響，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設備的用氣點。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點

分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

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